Simulação, fabricação e comando de um micro-espelho piezelétrico Z (2008)
- Authors:
- USP affiliated author: DEMARQUE, VINÍCIUS MICHELAN - EP
- School: EP
- Sigla do Departamento: PMR
- Subjects: ATUADORES PIEZELÉTRICOS; SIMULAÇÃO; FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA); MATLAB
- Language: Português
- Abstract: Este trabalho apresenta as etapas de projeto e execução de um micro eletro mecanismo (MEMS), que são simulação, fabricação e comando. O MEMS abordado nesse trabalho é um micro-espelho com deslocamento no eixo Z atuado por cerâmicas piezelétricas. A fase de projeto consiste em dimensionar o protótipo de acordo com outros micro-mecanismos já existentes, obtidos através de pesquisas, e as limitações impostas pelos meios disponíveis para fabricação e análise. A viabilidade do projeto é analisada através de simulação por um software de Elementos Finitos 3D (ANSYS). Neste software, analisa-se os deslocamentos do micro-espelho para uma série de tensões dadas e os modos de vibrar dos atuadores para se conhecer a freqüência de trabalho do mesmo. A fase de execução compreende as duas outras etapas. A fabricação do espelho e dos atuadores é feita por uma empresa especializada, pois necessita de técnicas não disponíveis, como fotolitografia. O comando é desenvolvido no software MATLAB e é feito através de joystick ligado ao computador. O computador recebe os sinais de entrada do joystick e os interpreta no software MATLAB. Este software, por sua vez, envia sinais através de uma placa GPIB do computador para a fonte de tensão ligada ao micro-espelho. Este comando é desenvolvido para que o micro-espelho piezelétrico seja testado e para que seja feita a comparação entre o resultado simulado e o obtido. Os deslocamentos obtidos pelo micro-espelho são da ordem de micrômetros (10-6 m). Para medir deslocamentos dessa magnitude utiliza-se um interferômetro laser.
- Imprenta:
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ABNT
DEMARQUE, Vinícius Michelan. Simulação, fabricação e comando de um micro-espelho piezelétrico Z. 2008. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f0bec670-7028-4036-a653-0638ca688cf0/VINICIUS%20MICHELAN%20DEMARQUE%20PMR08.pdf. Acesso em: 27 abr. 2024. -
APA
Demarque, V. M. (2008). Simulação, fabricação e comando de um micro-espelho piezelétrico Z (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f0bec670-7028-4036-a653-0638ca688cf0/VINICIUS%20MICHELAN%20DEMARQUE%20PMR08.pdf -
NLM
Demarque VM. Simulação, fabricação e comando de um micro-espelho piezelétrico Z [Internet]. 2008 ;[citado 2024 abr. 27 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f0bec670-7028-4036-a653-0638ca688cf0/VINICIUS%20MICHELAN%20DEMARQUE%20PMR08.pdf -
Vancouver
Demarque VM. Simulação, fabricação e comando de um micro-espelho piezelétrico Z [Internet]. 2008 ;[citado 2024 abr. 27 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f0bec670-7028-4036-a653-0638ca688cf0/VINICIUS%20MICHELAN%20DEMARQUE%20PMR08.pdf
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